商品介绍

奈米深度3D形状显微检测仪

奈米3D显微检测仪

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奈米3D显微形貌快速呈现

SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪结合台智公司(Carmar) 的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至ISO国际规范。

SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪,具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3D图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优於逐点逐面扫描的

共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优於扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全,维护成本更低。

无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微元件表面特徵和微尺寸检测,应用领域包含:

* 触控面板 (Touch Panel)

* 太阳能板 (Solar Cell)

* 晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

* 光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

* 微机电元件 (MEMS Components)

*平面液晶显示器(LCD)

* 高密度线路印刷电路板( HDI PCB )

* IC封装( IC Package)

* 精密微机械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

* 以及其它材料分析与元件微表面研究。

相移垂直扫描专利技术,使深度解析度达0.1nm

SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描解析度0.1nm,平面空间分辨力0.5 um (50X物镜)的量测能力,最高达12 um/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所必备的工具。