商品介紹

奈米深度3D形狀顯微檢測儀

奈米3D顯微檢測儀

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奈米3D顯微形貌快速呈現

SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀結合台智公司(Carmar) 的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術,不需要複雜光路調整程序,即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析, 並追溯至ISO國際規範。

SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀,具有極強的測量能力,可在幾秒內就完成整個視場的掃描,得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的

共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機快又安全,維護成本更低。

無論是拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(例如石英),只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測,應用領域包含:

* 觸控面板 (Touch Panel)

* 太陽能板 (Solar Cell)

* 晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

* 光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

* 微機電元件 (MEMS Components)

*平面液晶顯示器(LCD)

* 高密度線路印刷電路板( HDI PCB )

* IC封裝( IC Package)

* 精密微機械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

* 以及其它材料分析與元件微表面研究。

相移垂直掃描專利技術,使深度解析度達0.1nm

SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力,最高達12 um/s的垂直掃描速度,所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研、研發、生產品檢時所必備的工具。