主要特點：

²  底座和立柱採用灰鑄鐵整體鑄件及精加工，確保機台擁有的高穩定性和精確度；

²   採用高精密無牙光杆和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內；

²  採用高精度A級儀器光學尺配合精密工作臺，確保機台精度在≤3+L/200um以內；

²  採用高清變焦鏡頭和高解析度彩色數位相機，確保畫質清晰無畸變；

²  採用程式控制式表面4環8區LED冷光源和透射LED平行光源，以及內置智慧燈光調節模組，可自由控制燈光在4環8區任何區域的亮度；

²   功能強大的INS-M影像測量軟體，提升品質管控到新的臺階；

²  可選FexQMS測量資料分析及和即時監控軟體，提升制程式控制制、降低物料耗損。