商品介绍

奈米深度3D形状显微检测仪



奈米深度3D形状显微检测仪

奈米3D显微形貌快速呈现
    SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪结合台智公司(Carmar) 的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至ISO国际规范。
    SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪,具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3D图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优於逐点逐面扫描的
共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优於扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全,维护成本更低。
    无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微元件表面特徵和微尺寸检测,应用领域包含:
u 触控面板 (Touch Panel)
u 太阳能板 (Solar Cell)
u 晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer
u 光碟/硬碟(DVD DiskHard Disk
u 微机电元件 MEMS Components
u 平面液晶显示器(LCD
u 高密度线路印刷电路板( HDI  PCB 
u IC封装( IC  Package
u 精密微机械元件或模具Micro Mechanical Parts or Mode
u 以及其它材料分析与元件微表面研究。
 
相移垂直扫描专利技术,使深度解析度达0.1nm
SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描解析度0.1nm,平面空间分辨力0.5 um (50X物镜)的量测能力,最高达12  um/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研研发产品检时所必备的工具。 
SWIM-M系列  (通用规格)
型号
SWIM-1510MS
SWIM-1510ME
SWIM-1510MZ
SWIM-2515MS
SWIM-2515ME
SWIM-2515MZ
SWIM-4030MS
SWIM-4030ME
SWIM-4030MZ
移动台行程 (mm)
150 x 100
250 x 150
400 x 300
机台尺寸 X/Y/Z (mm)
510 x 560 x 900
 570 x 670 x900
700 x 990 x 900
机台重量 (kg)
145
150
296
载重
大於 10 kg
轴移动范围
80 mm,手动粗调/细调
位置数位显示单元
三轴光学尺与三轴电脑数位显示 (解析度0.5 mm)
倾斜调整平台
双轴/手动
底座
花岗岩
高度测量
测量范围
100 mm  ( 400 mm, 选配)
量测解析度
0.1 nm
重覆精度(σ)  (1)
 
 0.1 %    ( 量测高度: > 10 m m)
 10 nm   ( 量测高度:m m ~ 10 m m)
   5 nm   ( 量测高度: m m )
量测控制
自动
扫瞄速度 (ms)
12 (最高)
光源
光源类型
仪器用卤素()光源
平均使用寿命
1000小时(100W)     500小时(150W)
光强度调整
自动 /手动
资料处理与显示用电脑
中央处理运算单元
双核心以上CPU
影像与资料显示萤幕
17 液晶萤幕
存储装置
200 GB 以上硬碟机
作业系统
WindowsXP (2)
电源与环境要求
电源
AC110V 220V 50Hz 60Hz
环境振动
VC-C等级以上
量测与分析软体
量测软体
ImgScan 量测软体 :
 VSI  PVSI PSI 量测模式 ( PSI量测模式需另选配PSI模组搭配)
分析软体
PostTopo分析软体
 ISO 粗糙度/阶高分析,快速傅利叶转换和滤波多样的 2D 3D 观测视角图,外形/面积/体积分析图像缩放标准影像档案格式转换报表输出程序教导量测等。

1. 使用20X物镜量测阶高标准重覆30次的结果
2. WindowsXP为美国Microsoft公司注册商标

 

奈米深度3D形状显微检测仪

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SWIM-MS 
SWIM-ME 系列 

适用型号
SWIM-1510MSSWIM-1510ME
SWIM-2515MSSWIM-1510ME
SWIM-4030MSSWIM-4030ME
物镜放大倍率
10X
20X
50X
观察与量测范围
 ()
单位: mm
MS
0.43 X 0.32
0.21 X 0.16
0.088 X 0.066
ME
1.67 X 1.33
0.84 X 0.67
0.34 X 0.27
光学解析度 (mm)
0.92
0.69
0.5
收光角度 (Degrees)
17
23
33
工作距离 (mm)
7.4
4.7
3.4
影像感测器
黑白 CCD数位摄像机
感测器解析度
MS
640 x 480 像素
ME
1280 x 1024像素
SWIM-MZ 系列 

适用型号
SWIM-1510MZ
SWIM-2515MZ
SWIM-4030MZ
物镜放大倍率
10X
20X
50X
变倍倍率 (手动)
0.5X  1X  1.5X  2X
观察与量测范围
 ()
单位: mm
最小
0.21 X 0.16
0.10 X 0.079
0.042 X 0.031
最大
0.86 X 0.64
0.42 X 0.32
0.17 X 0.13
光学解析度 (mm)
0.92
0.69
0.5
收光角度 (Degrees)
17
23
33
工作距离 (mm)
7.4
4.7
3.4
影像感测器
黑白 CCD数位摄像机
感测器解析度
640 x 480 像素
*以上观察与量测范围的规格提供参考以出厂校正后的规格为准。

3D VMM-6060C 
产品规格 

型号
3D VMM-6060C
移动台行程 (mm)
600 x 600 (气浮)
机台尺寸 (mm)
 1500 x 1300 x 1510
机台重量 (kg)
1300
轴移动范围
80 mm
位置数位显示单元
三轴光学尺与三轴电脑数位显示 (解析度0.5 mm)
XY示值误差
(3 + L/200) um      L为被测长度(单位∶mm)
底座/防振
花岗岩平台/被动式防振脚
光学系统
参考SWIM-MS系列的光学配置
测量范围
100 mm  ( 400 mm, 选配)
3D高度量测解析度
0.1 nm
3D高度重覆精度(σ) 
 
 0.1 %    ( 量测高度: > 10 m m)
 10 nm   ( 量测高度:m m ~ 10 m m)
   5 nm   ( 量测高度: <1 m m )
3D扫瞄速度
12 m(最高)
光源类型
高亮度LED光源
光强度调整
自动 /电动
CPU /作业系统
双核心以上CPU WindowsXP
萤幕/存储装置
17 液晶萤幕/ 200 GB 以上硬碟机
电源
AC110V 220V 50Hz  60Hz
环境振动需求
VC-C等级以上
温湿度环境需求
温度20 ± 2       湿度55 ~ 65 % RH
工作气源
气压 0.4 MPa       流量120 L/min
量测与分析软体
3D QIM 5008  ImgScan  PostTopo
 SWIM 全系列产品规格与款式如有变更,恕不另行通知。