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微米深度3D形状显微检测仪

微米3D显微检测仪

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奈米3D显微形貌快速呈现

SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪结合台智公司(Carmar) 的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至ISO国际规范。

SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪,具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3D图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优於逐点逐面扫描的

共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优於扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全,维护成本更低。

无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微元件表面特徵和微尺寸检测,应用领域包含:

* 触控面板 (Touch Panel)

* 太阳能板 (Solar Cell)

* 晶圆(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

* 光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

* 微机电元件 (MEMS Components)

*平面液晶显示器(LCD)

* 高密度线路印刷电路板( HDI PCB )

* IC封装( IC Package)

* 精密微机械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

* 以及其它材料分析与元件微表面研究。

相移垂直扫描专利技术,使深度解析度达0.1nm

SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描解析度0.1nm,平面空间分辨力0.5 um (50X物镜)的量测能力,最高达12 um/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研、研发、生产品检时所必备的工具。

高速精密的干涉解析软体(ImgScan)

◎垂直高度可达0.1nm

◎高速的分析演算法则量测不久等

◎垂直扫描范围设定容易

◎10╳,20╳与50╳倍率的物镜可选择

◎平台XYZ位置数显示检测物寻找快速

◎具手动/自动光强度调整可取最佳干涉条纹对比

◎具高精度的PVSI与高速的VSI扫描量测模式

◎具专利的解析演算法则可处理半透明物体3D形貌

◎具自动补点功能可自行设定扫描方向

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专业级的
3D图形处理与分析软体(PostTopo)

◎提供多功能又具亲和介面的3D图形处理与分析

◎自动表面平整化处里

◎提供高阶标准片的软体自校功能

◎深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式

◎线型分析方式提供直接追朔ISO定义的表面粗糙度量与起伏度的量测分析。可提供多达17种ISO的量测参数与4种额外量测数据

◎区域分析提供图形分析与统计分析。具有平滑化,锐化与数位滤坡等多种二为快速傅利叶转换(FFT)处理功能

◎量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或Excel文字档案格式输出
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检测范例

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SWIM-MS SWIM-ME 系列 


SWIM-MZ 
系列
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*以上”观察与量测范围”的规格提供参考,以出厂校正后的规格为准。

 

3D VMM-6060C 产品规格

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 SWIM 全系列产品规格与款式如有变更,恕不另行通知。

 

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