商品介绍

奈米白光干涉仪

奈米白光干涉仪
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奈米3D显微形貌快速呈现

白光干涉显微检测仪的相移垂直扫描的专利技术与显微光干涉技术,不需要复杂光路调整程序,即可在非接触、无破坏、普通大气环境下完成3D奈米深度的表面检测分析,不仅提供3D表面形状和表面纹理的分析,更可提供镜面表面的奈米级粗糙度和台阶高度分析, 并追溯至ISO国际规范。
SWIM系列扫描白光干涉显微检测仪,具有极强的测量能力,可在几秒内就完成整个视场的扫描,得到测量样品的3D图形与高度数据,检测速度与深度量测能力优於逐点逐面扫描的 共焦扫描显微镜,3D图形量测能力又优於扫描式电子显微镜的2D平面检测能力,且不需要使用电子束或雷射,开机快又安全,维护成本更低。
无论是抛光面,还是粗糙面,甚至是高透明材质(例如石英),只要有超过1%以上的反射率就能够被检测。 SWIM系列显微检测仪适合各种材料与微元件表面特徵和微尺寸检测。
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相移垂直扫描专利技术,使深度解析度达0.1nm
SWIM系列显微检测仪提供Z轴扫描解析度0.1nm,平面空间分辨力0.5 um (50X物镜)的量测能力,最高达12 um/s的垂直扫描速度,所具有的奈米3D显微形貌快速呈现能力是科研研发生产品检时所必备的工具。
AE-100M系列 (通用规格)

AE-100M系列 
型号 AE-100M
移动台行程 100X100
物镜放大倍率 10X 20X 50X
观察与量测范围(mm) 0.43X0.32 0.21X0.16 0.088X0.066
光学解析度(um)mm 0.92 0.69 0.5
收光角度(Degrees) 17 23 33
工作距离 7.4 4.7 3.4
CCD解析度 640X480
Z轴移动范围 80mm,手动,粗调/微调
Z轴位置显示器 解析度1u
倾斜调整平台 双轴/手动
高度量测
量测范围 100um(400um选配)
量测解析度 0.1nm
重覆解析度

0.1% (量测高度:>10um)

10nm (量测高度:>1um~10um)

5nm (量测高度:<1um)

量测控制 AUTO
扫瞄速度(um/s) 12(最高)
光源
光源类型 仪器用卤素(冷)光源
平均使用寿命 1000小时(100w) 500小时(150w)
光强度调整 自动/手动
电源与环境要求
电源 AC110/220V,50/60HZ
环境震动要求 VC-C
量测与分析软体
量测软体

Imgcan量测软体

具 VSI / PVSI / PSI量测模式(PSI量测模式需另选配PSI模

组搭配)

分析软体

PostTopo分析软体:

1。ISO粗糙度/阶高分析

2。外型/面积/体积分析

3。报表输出