商品介紹

奈米深度3D形狀顯微檢測儀



奈米深度3D形狀顯微檢測儀

奈米3D顯微形貌快速呈現
    SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀結合台智公司(Carmar) 的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術,不需要複雜光路調整程序,即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析, 並追溯至ISO國際規範。
    SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀,具有極強的測量能力,可在幾秒內就完成整個視場的掃描,得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的
共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機快又安全,維護成本更低。
    無論是拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(例如石英),只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測,應用領域包含:
u 觸控面板 (Touch Panel)
u 太陽能板 (Solar Cell)
u 晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer
u 光碟/硬碟(DVD DiskHard Disk
u 微機電元件 MEMS Components
u 平面液晶顯示器(LCD
u 高密度線路印刷電路板( HDI  PCB 
u IC封裝( IC  Package
u 精密微機械元件或模具Micro Mechanical Parts or Mode
u 以及其它材料分析與元件微表面研究。
 
相移垂直掃描專利技術,使深度解析度達0.1nm
SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力,最高達12  um/s的垂直掃描速度,所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研研發產品檢時所必備的工具。 
SWIM-M系列  (通用規格)
型號
SWIM-1510MS
SWIM-1510ME
SWIM-1510MZ
SWIM-2515MS
SWIM-2515ME
SWIM-2515MZ
SWIM-4030MS
SWIM-4030ME
SWIM-4030MZ
移動台行程 (mm)
150 x 100
250 x 150
400 x 300
機台尺寸 X/Y/Z (mm)
510 x 560 x 900
 570 x 670 x900
700 x 990 x 900
機台重量 (kg)
145
150
296
載重
大於 10 kg
軸移動範圍
80 mm,手動粗調/細調
位置數位顯示單元
三軸光學尺與三軸電腦數位顯示 (解析度0.5 mm)
傾斜調整平台
雙軸/手動
底座
花崗岩
高度測量
測量範圍
100 mm  ( 400 mm, 選配)
量測解析度
0.1 nm
重覆精度(σ)  (1)
 
 0.1 %    ( 量測高度: > 10 m m)
 10 nm   ( 量測高度:m m ~ 10 m m)
   5 nm   ( 量測高度: m m )
量測控制
自動
掃瞄速度 (ms)
12 (最高)
光源
光源類型
儀器用鹵素()光源
平均使用壽命
1000小時(100W)     500小時(150W)
光強度調整
自動 /手動
資料處理與顯示用電腦
中央處理運算單元
雙核心以上CPU
影像與資料顯示螢幕
17 液晶螢幕
存儲裝置
200 GB 以上硬碟機
作業系統
WindowsXP (2)
電源與環境要求
電源
AC110V 220V 50Hz 60Hz
環境振動
VC-C等級以上
量測與分析軟體
量測軟體
ImgScan 量測軟體 :
 VSI  PVSI PSI 量測模式 ( PSI量測模式需另選配PSI模組搭配)
分析軟體
PostTopo分析軟體
 ISO 粗糙度/階高分析,快速傅利葉轉換和濾波多樣的 2D 3D 觀測視角圖,外形/面積/體積分析圖像縮放標準影像檔案格式轉換報表輸出程序教導量測等。

1. 使用20X物鏡量測階高標準重覆30次的結果
2. WindowsXP為美國Microsoft公司註冊商標

 

奈米深度3D形狀顯微檢測儀

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SWIM-MS 
SWIM-ME 系列 

適用型號
SWIM-1510MSSWIM-1510ME
SWIM-2515MSSWIM-1510ME
SWIM-4030MSSWIM-4030ME
物鏡放大倍率
10X
20X
50X
觀察與量測範圍
 ()
單位: mm
MS
0.43 X 0.32
0.21 X 0.16
0.088 X 0.066
ME
1.67 X 1.33
0.84 X 0.67
0.34 X 0.27
光學解析度 (mm)
0.92
0.69
0.5
收光角度 (Degrees)
17
23
33
工作距離 (mm)
7.4
4.7
3.4
影像感測器
黑白 CCD數位攝像機
感測器解析度
MS
640 x 480 像素
ME
1280 x 1024像素
SWIM-MZ 系列 

適用型號
SWIM-1510MZ
SWIM-2515MZ
SWIM-4030MZ
物鏡放大倍率
10X
20X
50X
變倍倍率 (手動)
0.5X  1X  1.5X  2X
觀察與量測範圍
 ()
單位: mm
最小
0.21 X 0.16
0.10 X 0.079
0.042 X 0.031
最大
0.86 X 0.64
0.42 X 0.32
0.17 X 0.13
光學解析度 (mm)
0.92
0.69
0.5
收光角度 (Degrees)
17
23
33
工作距離 (mm)
7.4
4.7
3.4
影像感測器
黑白 CCD數位攝像機
感測器解析度
640 x 480 像素
*以上觀察與量測範圍的規格提供參考以出廠校正後的規格為準。

3D VMM-6060C 
產品規格 

型號
3D VMM-6060C
移動台行程 (mm)
600 x 600 (氣浮)
機台尺寸 (mm)
 1500 x 1300 x 1510
機台重量 (kg)
1300
軸移動範圍
80 mm
位置數位顯示單元
三軸光學尺與三軸電腦數位顯示 (解析度0.5 mm)
XY示值誤差
(3 + L/200) um      L為被測長度(單位︰mm)
底座/防振
花崗岩平台/被動式防振腳
光學系統
參考SWIM-MS系列的光學配置
測量範圍
100 mm  ( 400 mm, 選配)
3D高度量測解析度
0.1 nm
3D高度重覆精度(σ) 
 
 0.1 %    ( 量測高度: > 10 m m)
 10 nm   ( 量測高度:m m ~ 10 m m)
   5 nm   ( 量測高度: <1 m m )
3D掃瞄速度
12 m(最高)
光源類型
高亮度LED光源
光強度調整
自動 /電動
CPU /作業系統
雙核心以上CPU WindowsXP
螢幕/存儲裝置
17 液晶螢幕/ 200 GB 以上硬碟機
電源
AC110V 220V 50Hz  60Hz
環境振動需求
VC-C等級以上
溫濕度環境需求
溫度20 ± 2       濕度55 ~ 65 % RH
工作氣源
氣壓 0.4 MPa       流量120 L/min
量測與分析軟體
3D QIM 5008  ImgScan  PostTopo
 SWIM 全系列產品規格與款式如有變更,恕不另行通知。