商品介紹

奈米白光干涉儀

奈米白光干涉儀
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奈米3D顯微形貌快速呈現

白光干涉顯微檢測儀的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術,不需要複雜光路調整程序,即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析, 並追溯至ISO國際規範。
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀,具有極強的測量能力,可在幾秒內就完成整個視場的掃描,得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的 共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機快又安全,維護成本更低。
無論是拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(例如石英),只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測。
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相移垂直掃描專利技術,使深度解析度達0.1nm
SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力,最高達12 um/s的垂直掃描速度,所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研研發生產品檢時所必備的工具。
AE-100M系列 (通用規格)

AE-100M系列 
型號 AE-100M
移動台行程 100X100
物鏡放大倍率 10X 20X 50X
觀察與量測範圍(mm) 0.43X0.32 0.21X0.16 0.088X0.066
光學解析度(um)mm 0.92 0.69 0.5
收光角度(Degrees) 17 23 33
工作距離 7.4 4.7 3.4
CCD解析度 640X480
Z軸移動範圍 80mm,手動,粗調/微調
Z軸位置顯示器 解析度1u
傾斜調整平台 雙軸/手動
高度量測
量測範圍 100um(400um選配)
量測解析度 0.1nm
重覆解析度

0.1% (量測高度:>10um)

10nm (量測高度:>1um~10um)

5nm (量測高度:<1um)

量測控制 AUTO
掃瞄速度(um/s) 12(最高)
光源
光源類型 儀器用鹵素(冷)光源
平均使用壽命 1000小時(100w) 500小時(150w)
光強度調整 自動/手動
電源與環境要求
電源 AC110/220V,50/60HZ
環境震動要求 VC-C
量測與分析軟體
量測軟體

Imgcan量測軟體

具 VSI / PVSI / PSI量測模式(PSI量測模式需另選配PSI模

組搭配)

分析軟體

PostTopo分析軟體:

1。ISO粗糙度/階高分析

2。外型/面積/體積分析

3。報表輸出